Argon 氬氣

<3.0 ppmv

Nitrogen 氮氣

<5.0 ppmv

Carbon Monoxide 一氧化碳

<0.5 ppmv

Carbon Dioxide 二氧化碳

<0.5 ppmv

Total Hydrocarbon 碳?xì)浠衔?/span>

<0.2 ppmv

Moisture 水

<0.5 ppmv

Krypton 氪氣

<2.0 ppmv

項目名稱

指標(biāo)

氧（O₂)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2          

≥

99.5

99.2

水（H₂O)

無游離水

純氧、高純氧、超純氧（GB/T14599-2008)

項目名稱

指標(biāo)

超純氧

高純氧

純氧

氧氣（O₂)的體積分?jǐn)?shù)/10^-2            

≥

99.9999

99.999

99.995

氫氣（H₂)的體積分?jǐn)?shù)/10^-6            

≤

0.1

0.5

1

氬（Ar）的體積分?jǐn)?shù)/10^-6            

≤

0.2

2

10

氮（N₂)的體積分?jǐn)?shù)/10^-6             

≤

0.1

5

20

總烴含量（以甲烷計）/10^-6           

≤

0.1

0.5

2

二氧化碳含量/10^-6                  

≤

0.1

0.5

1

水分/10⁶                                

≤

0.5

2

3

注：表中純度和含量均以體積分?jǐn)?shù)表示（V/V)。