沈陽(yáng)氣體廠家?guī)私猓荷蜿?yáng)工業(yè)氣體同其他標(biāo)準(zhǔn)氣體制備不同的是，配制電子混合氣體的裝置似乎更為復(fù)雜，電子混合氣體配氣裝置所用的管路是EP(電解研磨)級(jí)別，材質(zhì)為316L，精.密壓力表或壓力傳感器精度優(yōu)于0.25級(jí)，材質(zhì)316L。為確保配制裝置不產(chǎn)生污染使用前要求系統(tǒng):正壓試驗(yàn)1.5倍工作壓力，持壓30min;真空氦檢漏:≤10－9atm．cc/s;系統(tǒng)水分:≤－80℃;微量氧:≤10×10－9;顆粒物測(cè)定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。為了防止產(chǎn)生顆粒物，裝置應(yīng)配有耐高壓、耐腐蝕過(guò)濾器，如PALL產(chǎn)0.003μm不銹鋼燒結(jié)或PTFE濾芯，并不定期對(duì)氣體過(guò)濾器的過(guò)濾效果進(jìn)行評(píng)價(jià)和測(cè)量，當(dāng)過(guò)濾效果下降，應(yīng)立即更換濾芯或過(guò)濾器。

工業(yè)氣體等電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣:N2、H2、He、Ar、O2;組分氣:PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等，為了減少平衡氣體中有害雜質(zhì)的含量，設(shè)有平衡氣體高壓凈化器，通過(guò)凈化平衡氣的純度大于百分之99.9999，在凈化器的出口設(shè)有在線H2O、O2檢測(cè)儀表，隨時(shí)反映凈化器出口氣體關(guān)鍵雜質(zhì)的含量，這些凈化器內(nèi)置氣體過(guò)濾器。由于組分氣體屬于劇毒或有毒化學(xué)品，吹掃氣、放空氣、真空泵排出氣不能排放大氣，化學(xué)法雖然能夠通過(guò)反應(yīng)進(jìn)行中和，但由于涉及水溶液，因此，該法不是推薦方法，我們通常采用催化分解或燃燒的方法，可有效解決除AsH3以外的有毒氣體，AsH3處理只是由氣態(tài)有毒物變?yōu)楣虘B(tài)而已。

為了避免交叉污染，工業(yè)氣體配氣設(shè)備的數(shù)量應(yīng)根據(jù)業(yè)務(wù)情況確定，這一點(diǎn)十分重要，如配完B2H百分之65-H2混合氣，由于B2H6的化學(xué)特性，通過(guò)吹掃抽空很難在短時(shí)間內(nèi)將吸附在系統(tǒng)內(nèi)的殘存B2H6吹凈，若該系統(tǒng)再配制PH3混合氣，無(wú)疑將嚴(yán)重污染該氣體。由于它們同屬于摻雜氣體，稍有殘留將無(wú)法使用。

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