（1）沈陽(yáng)液態(tài)氣體易燃性氣體 

把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃?？扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過(guò)程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

不銹鋼制管件是用來(lái)傳輸各種制程氣體的主要管件，尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險(xiǎn)性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中最為嚴(yán)格，一般對(duì)于P級(jí)要求（×10 -9級(jí)）制程氣體的輸送，均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材，對(duì)于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料，它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點(diǎn)，而且對(duì)凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過(guò)了溶解、壓延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過(guò)程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過(guò)程外，再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù)，其Rmax≦0.7mm[3] 。

氣體管件在安裝時(shí)，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無(wú)接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來(lái)接合，對(duì)于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對(duì)金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠比較常用的氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)高純度氣體的用氣要求和氣體本身特性進(jìn)行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氣體以及危險(xiǎn)氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會(huì)適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過(guò)在接合時(shí)要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過(guò)度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮?dú)?/strong>以及CDA等氣體的傳輸上，因?yàn)檫@些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭?？偟膩?lái)說(shuō)，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長(zhǎng)度、接頭和閥件的數(shù)量，因?yàn)榇蠖鄶?shù)的危險(xiǎn)氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。

危險(xiǎn)氣體的特別事項(xiàng) 

作為半導(dǎo)體晶圓代工廠氣體的使用者，每一位工作人員都應(yīng)該在使用前對(duì)各種危險(xiǎn)氣體的安全數(shù)據(jù)加以了解，并且應(yīng)該知道如何應(yīng)對(duì)這些氣體外泄時(shí)的緊急處理程序。 一般來(lái)講，我們將有三重保障來(lái)防范萬(wàn)一有意外發(fā)生的危險(xiǎn)氣體外泄進(jìn)入到工作環(huán)境中。一個(gè)是特種氣體的氣瓶以及全部經(jīng)過(guò)正負(fù)壓測(cè)漏的氣體輸送管路；第二個(gè)是持續(xù)不斷的排氣抽風(fēng)系統(tǒng)（Exhaust），管路節(jié)點(diǎn)如氣瓶柜、VMB、工作臺(tái)等均具有很強(qiáng)排氣抽風(fēng)系統(tǒng)，以確保每一管路節(jié)點(diǎn)外圍都處于負(fù)壓環(huán)境。若發(fā)生微量的有毒氣體的泄漏，排氣抽風(fēng)系統(tǒng)將第一時(shí)間抽出；另外一個(gè)很重要的是處于抽風(fēng)口或環(huán)境點(diǎn)的毒性氣體偵測(cè)器系統(tǒng)，若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會(huì)被氣體偵測(cè)系統(tǒng)所偵測(cè)到，這個(gè)控制系統(tǒng)將根據(jù)氣體外泄對(duì)人體危害的大小來(lái)確定整個(gè)氣體輸送系統(tǒng)的相關(guān)互鎖動(dòng)作，嚴(yán)重時(shí)緊急關(guān)閉上游所有氣源，同時(shí)會(huì)驅(qū)動(dòng)中央控制室和現(xiàn)場(chǎng)的相關(guān)報(bào)警系統(tǒng)LAU，甚至?xí)?qū)動(dòng)全廠的自動(dòng)語(yǔ)音廣播系統(tǒng)通知立即疏散，要求相關(guān)人員迅速撤離報(bào)警區(qū)域。因此只要工程技術(shù)人員嚴(yán)格按照所制定的標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序操作，所有這些安全裝置都將確保人員不會(huì)有安全上的顧慮。沈陽(yáng)液態(tài)氣體